一文详解什么是薄膜电阻率-知识篇

发布时间：2021-04-26

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原标题：薄膜电阻率
薄膜电阻是一种常见的电阻产品，在众多电子设备中，薄膜电阻的使用是非常广泛。而薄膜电阻的电阻率是许多应用非常关注的技术指标，薄膜电阻率通常也称为电阻值。在很多半导体的电阻值取决于导体的使用材料性质及几何尺寸。截面积一定的半导体休息时，其电阻值与长度成正比关系，与截面积成反比。

对于薄膜材料，由于厚度非常小，很难准确测量厚度，导体的电阻率不再是常数。因为此时薄膜不再是一个致密完整的导体，薄膜具有一定的不连续性和不均匀性。在这种情况下，导体的电阻率与厚度密切相关，通常膜层越薄，电阻率也越大。因此，薄膜材料一般不使用电阻率，而是使用薄膜电阻来表现薄膜的特性。

薄膜电阻相当于长宽相等的方形薄膜，当电流从一侧流向另一侧英寸时，有方形电阻的名称。四探针法可以直接在薄膜上测量薄膜电阻。四个探针在一条直线上，间距相等，约为1亳米。外面的两个探针是电流探针，里面的两个是电压探针。

在许多情况下，当我们用于技术电阻率与半导体截面积的关系时，通常使用R=/s(欧洲)中的l-导体长度，单位为厘米，S-导体截面积，单位为厘米2，-pl/s(欧洲)中的l-导体长度，单位为欧洲厘米。

另外，电阻率是表现材料导电性能的重要参数，电阻所使用的材料一般应选择电阻率高、性能稳定的材料。纯金属材料为良导体，电阻率低，通常为10-51-8欧米左右，温度系数大，因此纯金属不适合制造电阻。由两种或几种电阻合金制成的电阻率较高，约10_4欧米，温度系数较低，可用于制造性能优异的电阻。

另外，非线绕组电气设备采用分散性导体(例如炭黑、石墨)和薄膜材料(例如热分解碳薄膜、金属薄膜)，采用分散性导体(例如炭黑、石墨)和薄膜材料(例如热分解碳薄膜、金属薄膜)。半导体材料的电阻率很高，但半导体休息在外部光、热等物理因素的作用下敏感，一般不适合制造性能稳定的电阻，适合制造敏感的电阻。

相关资料：
薄膜电阻率计算公式如下
薄膜电阻用欧姆/平方来计量，可被应用于将薄膜考虑为一个二维实体的二维系统。它与三维系统下所用的电阻率的概念对等。当使用到薄膜电阻一词的时候，电流必须沿着薄膜平面流动，而非与其垂直。
对于常规三维导体，电阻可被写为
薄膜电阻率

其中ρ代表电阻率，A代表截面面积而L代表长度。截面面积可被分解为宽度W和薄膜厚度t。
当把电阻率和厚度放到一起时，电阻可被记为
薄膜电阻率

Rs即为薄膜电阻。因为它被一个无量纲量所乘，所以单位依然是欧姆。而欧姆/平方这一单位被使用是因为它给出了以欧姆为单位的从一个平方区域流向相对平方区域的电阻，无论平方区域的大小如何。对于正方情形，L = W。因此，对任意平方大小，有R = Rs。

以上内容主要介绍薄膜电阻率及薄膜电阻率计算公式。

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